Präzise Messtechnik für die Halbleiterfertigung

Beim diesjährigen Silicon Saxony Day am 17. Juni in Dresden präsentiert senswork am Stand B17 spezialisierte Lösungen zur Qualitätssicherung und Automatisierung in der Wafer-Fertigung. Im Fokus stehen bildverarbeitungsgestützte Systeme, die in den vorgelagerten Prozessschritten vor der Belichtung und eigentlichen Chip-Herstellung zum Einsatz kommen – von der Ingot-Bearbeitung bis zur Wafer-Verpackung. Dabei verbindet senswork höchste Präzision mit industrieller Effizienz.

Die Wafer-Fertigung erfordert in jeder Phase exakte Prozesskontrolle, um eine hohe Ausbeute und gleichbleibende Qualität sicherzustellen. senswork, Experte für industrielle Bildverarbeitung, bietet hierfür maßgeschneiderte Inspektionssysteme, die Fehler frühzeitig und in Echtzeit erkennen, vorausschauende Wartung ermöglichen und somit sowohl die Produktqualität steigern als auch die Anlagenverfügbarkeit erhöhen.

Ein besonderer Fokus liegt dabei auch auf Retrofit-Lösungen für bestehende Anlagen: senswork ermöglicht die Nachrüstung moderner Bildverarbeitungstechnologien in Produktionsumgebungen, um vorhandene Systeme wirtschaftlich und zukunftssicher aufzurüsten – ohne Eingriffe in die grundlegende Infrastruktur.

Die durchgängigen Lösungen von senswork für die Wafer-Fertigung im Überblick:

• Ingot-Schneiden: Kamera-gestütztes Messsystem zur hochpräzisen Ausrichtung von Drahtgattersägen – Genauigkeit 0,005 Grad
• Wafer-Schleifen: KI-basierte Kreuzschliffbeurteilung zur Detektion fehlerhafter Schliffbilder oder Werkzeugabnutzung
• Polieren: Vollautomatisierte Be- und Entladesysteme für Polieranlagen in Zusammenarbeit mit unseren Maschinenbau-Partners
• FOSB-Inspektion: 100-Prozent-Qualitätskontrolle von FOSBs inkl. Anbauteilprüfung, Cross-Slot-Erkennung und Label-Verifikation

• Chip-Handling (Pre-Packaging): Optische Messsystem zur präzisen Positionserkennung von Die-Komponenten für eine exakte Platzierung in Testadaptern

„Unsere Technologie unterstützt Kunden weltweit dabei, auch in den kritischen frühen Prozessschritten der Wafer-Fertigung verlässliche Qualitätsstandards sicherzustellen – ob bei Neuanlagen oder durch Retrofit bestehender Systeme“, erklärt Rainer Obergrußberger, CEO von senswork. „Gerade im dynamischen Umfeld der Halbleiterindustrie sind präzise Inspektionslösungen ein entscheidender Wettbewerbsvorteil.“

Der Silicon Saxony Day ist eine der bedeutendsten Hightech- und Netzwerkveranstaltungen Europas. Mehr als 700 Fachbesucher treffen sich am Flughafen Dresden, um sich über aktuelle Entwicklungen in der Miktroelektronik und verwandten Branchen auszutauschen.

Besuchen Sie senswork am Stand B17 und entdecken Sie leistungsstarke Inspektionslösungen für die Wafer-Fertigung – auch als Retrofit in Bestandsanlagen.

Bild 1: Ingot-Schneiden mit höchster Präzision: Unser optisches Messsystem ermöglicht die exakte Ausrichtung von Drahtgattersägen. (Quelle: senswork)

Bild 2: FOSB-Inspektion in Perfektion: senswork stellt auf dem Silicon Saxony Day eine vollautomatische 100-Prozent-Qualitätskontrolle inklusive Anbauteilprüfung, Cross-Slot-Erkennung und Label-Verifikation vor. (Quelle: kynny/ istockphoto.com)

Pressekontakt
Hedwig Unterhitzenberger
+49 8677 409958-37
hedwig.unterhitzenberger@senswork.com
senswork GmbH, Gewerbepark Lindach D 3, 84489 Burghausen